特許

J-GLOBAL ID：200903063231632392

窒化珪素質焼結体の製造方法

発明者： 高坂 祥二 ,  佐藤 政宏 ,  内村 英樹 ,  織田 武廣 ,  田島 健一 ,  岩井田 智広
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-066936
公開番号（公開出願番号）：特開平6-279120
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【構成】Lu2 O3 、あるいはLu2 O3 とLu2 O3 以外の周期律表第3a族元素酸化物の1種以上を0.1〜10モル%と、前記周期律表第3a族元素酸化物合量に対するモル比率が2以上となる量の酸化珪素(SiO2 )と、残部が珪素、あるいは珪素と窒化珪素からなる成形体を800〜1500°Cの窒素含有雰囲気中で熱処理して前記珪素を窒化後、さらに窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成した後、焼成後の冷却過程あるいは焼成後の熱処理により粒界相に少なくともRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)結晶を析出させる。【効果】寸法精度が高く、室温から高温、特に1500°Cまでの強度劣化が小さく、優れた耐酸化性を有する窒化珪素質焼結体を製造することができる。

請求項（抜粋）：

Lu2 O3 、あるいはLu2 O3 とLu2 O3 以外の周期律表第3a族元素酸化物の1種以上を0.1〜10モル%と、前記周期律表第3a族元素酸化物合量に対するモル比率が2以上となる量の酸化珪素(SiO2 )と、残部が珪素、あるいは珪素と窒化珪素からなる成形体を800〜1500°Cの窒素含有雰囲気中で熱処理して前記珪素を窒化後、さらに窒素を含む非酸化性雰囲気中で焼成した後、焼成後の冷却過程あるいは焼成後の熱処理により粒界相に少なくともRE2 Si2 O7 (REは周期律表第3a族元素)結晶を析出させることを特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。

IPC (2件)：

C04B 35/58 102 ,  C04B 35/58