特許
J-GLOBAL ID：200903063231864242
圧電型振動センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-002133
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201721
出願日： 1993年01月08日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 z軸方向における検出精度を向上させる。【構成】 台座21上に膜状圧電体26および荷重体25を積層した構造を有する。圧電体26と、該圧電体26の一方の面全体にわたって配された第一の電極29と、該第一の電極29に対する電位差を検出するとともに、圧電体26の他方の面に配された第二の電極31とを有する。該第二の電極31は、x軸上に一対配され、互いに点対称に配された一対のx軸用分割電極33と、該x軸用分割電極と同一面積に形成され、y軸上に互いに点対称に配された一対のy軸用分割電極34と、その中心が圧電体26の中心に位置されたz軸用電極35とから構成する。該z軸用電極35の面積を、各分割電極33、34の一つに対して、1〜10倍の面積に形成する。【効果】 クロストークを低い値に抑さえ、z軸方向の検出精度を向上できる。
請求項（抜粋）：
台座上に膜状圧電体および荷重体を積層した構造を有する圧電型振動センサであって、前記圧電体と、該圧電体の一方の面全体にわたって配された第一の電極と、前記圧電体の他方の面に配され、前記第一の電極に対する電位差を検出する第二の電極とを有する構成にされ、該第二の電極は、前記圧電体の他方の面の中心を交点として直交する二本の直線をx軸、y軸としたとき、x軸上に一対配され、前記交点に対して点対称に配された一対のx軸用分割電極と、y軸上に一対配され、前記交点に対して点対称に配された一対のy軸用分割電極と、その中心が前記交点に位置されたz軸用電極とから構成され、前記x軸用分割電極とy軸用分割電極とは、同一面積に形成されるとともに、前記交点から等間隔をあけてz軸用電極の周囲に配置され、該z軸用電極は、前記x軸用又はy軸用分割電極の一つに対して、1〜10倍の面積に形成されていることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件)：
G01P 15/09
, H04R 17/00 332
