特許

J-GLOBAL ID：200903063247787345

液体吐出ヘッド素子

発明者： 赤池 正剛
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (3件)： 金田 暢之 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-025751
公開番号（公開出願番号）：特開2004-237448
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】圧電体および電極を液体にさらすことなく気密に封止し、振動板と圧電体との熱膨張係数差による影響の軽減を図り、振動板の厚さ、圧力室、および流路の深さを高精度に形成する。【解決手段】SOI積層基板5は、隣接する第3のSi層13と第3のSi酸化膜層18によって形成された振動板23と、振動板23の一方側に隣接して設けられた圧力室21と、振動板23の他方側に隣接して設けられた凹部25と、凹部25内に設けられ振動板23を駆動するための圧電体26と、圧力室21にインクを供給するための入口流路22とを有する。そして、振動板23、圧力室21、入口流路22、および凹部25は、少なくとも1つのSi層によってそれぞれ形成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

複数のSi層とSi酸化膜層とが交互に積層されてなる積層基板と、前記積層基板の一方の主面上に接合され液体を吐出するノズルを有する第1のガラス基板と、前記積層基板の他方の主面上に接合された第2のガラス基板とを備える液体吐出ヘッド素子であって、 前記積層基板は、隣接する前記Si層と前記Si酸化膜層によって形成された振動板と、前記振動板の一方側に隣接して設けられた圧力室と、前記振動板の他方側に隣接して設けられた凹部と、前記凹部内に設けられ前記振動板を駆動するための圧電体と、前記圧力室に液体を供給するための流路とを有し、前記振動板、前記圧力室、前記流路、および前記凹部が、少なくとも1つの前記Si層によってそれぞれ形成された液体吐出ヘッド素子。

IPC (3件)：

B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16

FI (2件)：

B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H

Fターム (13件)：

2C057AF65 ,  2C057AF66 ,  2C057AF70 ,  2C057AF93 ,  2C057AG44 ,  2C057AP22 ,  2C057AP26 ,  2C057AP28 ,  2C057AP33 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14