特許

J-GLOBAL ID：200903063247976873

光重合性組成物

発明者： 野口 弘道 ,  大熊 典夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-167060
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027432
出願日： 1991年07月08日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】 可視光に高感度を示し、支持体に対する密着性に優れ、且つ精密で高感度のパターンを形成し得る光重合性組成物を提供すること。【構成】 (A)特定の構造単位を有し、数平均分子量が5千以上であり、重量平均分子量が5万以下であるグラフト共重合体高分子、(B)特定の構造単位を有し、数平均分子量が5万以上であり、重量平均分子量が35万以下であり、ガラス転移温度が60°C以上である線状高分子、(C)1分子中に2個以上のエチレン性不飽和結合を有し、エポキシ基を含まない多官能モノマー1、(D)多官能エポキシ樹脂のアクリル酸部分エステル化物である多官能モノマー2、(E)特定のラジカル発生剤及び、(F)特定の増感剤を有してなる光重合性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)分子中にアルキルメタアクリレートおよびジシクロペンテニル基含有アクリルモノマー、イソボルニル基含有アクリルモノマー、アクリロニトリルからなる群より選ばれた1種以上のモノマーからなる構造単位を主体とする幹鎖に、下記一般式(x)または(y)【化1】(ただし、上記式中R1 は水素またはメチル基であり、R2 は水素または炭素原子数が1から4の水酸基を有していてもよいアルキル基を表わし、R3 は炭素原子数が0から3のアルキル基あるいは置換フェニル基を表わし、R4 は水素、メチル基またはエチル基を表わす)のうちの少なくとも1種のモノマーに由来する構造単位を有する枝鎖が付加されてなり、かつ数平均分子量が5千以上であり、重量平均分子量が5万以下であるグラフト共重合高分子と、(B)メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、t-ブチルメタクリレート、ベンジルメタクリレート、アクリロニトリル、イソボルニルメタクリレート、イソボルニルアクリレート、トリシクロデカンアクリレート、トリシクロデカンオキシエチルメタクリレート、スチレン、ジメチルアミノエチルアクリレート、ジメチルアミノエチルメタアクリレート、シクロヘキシルメタクリレートからなる群より選ばれた1種以上の構造単位を有し、かつ前記(x)または(y)で表わされるモノマーのうち少なくとも1種のモノマーに由来する構造単位を有し、かつ数平均分子量が5万以上であり、重量平均分子量が35万以下であり、ガラス転移温度が60°C以上である線状高分子と、(C)1分子中に2個以上のエチレン性不飽和結合を有し、エポキシ基を含まない多官能モノマー1と、(D)多官能エポキシ樹脂のアクリル酸部分エステル化物である多官能モノマー2と、(E)芳香族スルホニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、トリハロメチルトリアジン類、カンファーキノンから選ばれる少なくとも1種であるラジカル発生剤と、(F)クマリン類、チオキサントン類、スチリルスチリルケトン、スチリルフェニルケトン、ベンジルから選ばれる増感剤とを有してなる光重合性組成物。

IPC (13件)：

G03F 7/027 501 ,  C08F 2/50 MDQ ,  C08F291/00 MRB ,  C08F299/02 MRV ,  C08G 59/18 NKH ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/038 501 ,  H01L 21/027 ,  C08F 2/44 MCS