特許
J-GLOBAL ID：200903063251734108
被覆の製造方法と物品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-033126
公開番号（公開出願番号）：特開2001-288559
出願日： 2001年02月09日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 摩擦係数が低く、かつ摩耗が少なく、しかしながら相対的に硬さが高く、さらに相対的に弾性が高い、被覆を、実際に物品の上に製造することができる方法、および、そのような被覆を有する物品を提供する。【解決手段】 本発明は、機械部品や工具などの物品の上に摩擦係数の低い被覆を製造する方法に関し、金属、ケイ素、ホウ素の中の少なくとも1つの元素の炭化物18と炭素20の連続した層22が、PVD処理によって物品12の上に積層される。そのような連続した層22を有する物品も同様に提供される。この被覆は、摩擦係数が低く、かつ耐摩耗性であり、相対的に硬さが高く、さらに相対的に弾性が高い。
請求項（抜粋）：
機械部品や工具などの物品の上に摩擦係数の低い被覆を製造する方法であって、炭素と炭化物の層が交互に連続した層が、PVD処理によって物品の上に積層され、前記炭化物の層は、金属、ケイ素、ホウ素の中の少なくとも1つの元素の、炭化物から形成され、前記炭素の層は、黒鉛からなるターゲットのスパッタリングにより形成され、前記方法は、前記連続した層のそれぞれの炭素の層の厚みが、約1〜約20nmの範囲になるように、好ましくは2〜4nmの範囲になるように行われ、前記連続した層の最上層が、好ましくは炭素からなり、前記連続した層の最上層は、その他の層よりは幾分厚く、例えば500nmになるのが有利であり、前記炭化物の層の厚みは、1〜3nmの範囲にあり、好ましくは約2nmであり、前記炭素の層の炭素は、sp3結合を支配的に有していること、を含むことを特徴とする方法。
IPC (3件)：
C23C 14/06
, B23P 15/28
, B23B 27/14
C23C 14/06 P
, C23C 14/06 B
, C23C 14/06 F
, B23P 15/28 A
, B23B 27/14 A
