特許
J-GLOBAL ID:200903063253318799
ポリイミドフィルムの製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-153726
公開番号(公開出願番号):特開2006-327022
出願日: 2005年05月26日
公開日(公表日): 2006年12月07日
要約:
【課題】耐熱性、高周波対応、フレキシブル性をより高いレベルで保有しかつフィルムの表面でのクレーターや気泡破裂による欠陥や細孔内在を低減した電気絶縁性等、機械的強度の均一性優れたポリイミドフィルムの製造に適した製造装置を提供する。【解決手段】ポリイミド前駆体溶液を支持体上に塗布し、所定風量を用いて乾燥し自己支持性を有するグリーンフィルムとなす乾燥部、ついで該グリーンフィルムを150〜500°Cにて熱処理するイミド化部を少なくとも含むポリイミドフィルムの製造装置において、乾燥部がn=3〜8であるnに分割されたゾーンを有し、かつ各ゾーンが独立に制御された風量の気流を用いる風量制御部位を有し、各ゾーンに溶媒濃度検出部位を有するポリイミドフィルムの製造装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
溶媒中で、芳香族ジアミン類と芳香族テトラカルボン酸類とを反応させて得られるポリイミド前駆体溶液を支持体上に塗布し、所定風量の気流を用いて乾燥し自己支持性を有するグリーンフィルムとなす乾燥部、ついで該グリーンフィルムを150〜500°Cにて熱処理するイミド化部を少なくとも含むポリイミドフィルムの製造装置であって、乾燥部がn=3〜8であるnに分割されたゾーンを有し、各ゾーンに独立に制御された風量と温度の気流を用いる各風量制御部位を有し、かつ各ゾーンに各溶媒濃度検知部位を有することを特徴とするポリイミドフィルムの製造装置。
IPC (3件):
B29C 41/24
, B29C 41/46
, C08G 73/10
FI (3件):
B29C41/24
, B29C41/46
, C08G73/10
Fターム (56件):
4F205AA40
, 4F205AC05
, 4F205AG01
, 4F205AH33
, 4F205AJ02
, 4F205AR06
, 4F205GA07
, 4F205GB02
, 4F205GC02
, 4F205GC07
, 4F205GE24
, 4F205GF24
, 4F205GN13
, 4F205GN17
, 4F205GN22
, 4F205GN24
, 4F205GN29
, 4F205GW05
, 4J043PA02
, 4J043PA08
, 4J043PA15
, 4J043PA19
, 4J043QB15
, 4J043QB26
, 4J043QB31
, 4J043RA35
, 4J043SA06
, 4J043SA36
, 4J043SB01
, 4J043SB02
, 4J043TA14
, 4J043TA22
, 4J043TB01
, 4J043TB02
, 4J043UA121
, 4J043UA122
, 4J043UA131
, 4J043UA132
, 4J043UA151
, 4J043UA541
, 4J043UB022
, 4J043UB061
, 4J043UB121
, 4J043UB122
, 4J043UB132
, 4J043UB151
, 4J043UB152
, 4J043UB281
, 4J043UB291
, 4J043UB301
, 4J043UB302
, 4J043XA16
, 4J043XA19
, 4J043YA06
, 4J043ZB47
, 4J043ZB50
引用特許:
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