特許

J-GLOBAL ID：200903063254759837

六フッ化硫黄の精製方法

発明者： 大野 博基 ,  中條 哲夫 ,  大井 敏夫 ,  丸茂 国臣
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社 ,  株式会社日立製作所 ,  株式会社日立エンジニアリングサービス
代理人 (2件)： 志賀 正武 (外2名) ,  志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-109866
公開番号（公開出願番号）：特開平10-297910
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月10日
要約：

【要約】【課題】 不純物を含む六フッ化硫黄から簡便かつ効率的に有害不純物を除去する六フッ化硫黄の精製方法を得る。【解決手段】 不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた1種以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させる。

請求項（抜粋）：

不純物を含む六フッ化硫黄を、アルカリ土類金属化合物、アルミン酸アルカリ金属塩およびテトラアルキルアンモニウム塩からなる群から選ばれた1種以上の化合物と炭素質固体とからなる精製剤と接触させる六フッ化硫黄の精製方法。

IPC (2件)：

C01B 17/45 ,  B01D 53/02

FI (2件)：

C01B 17/45 A ,  B01D 53/02 Z