特許

J-GLOBAL ID：200903063260684580

画像計測装置

発明者： 落合 浩治 ,  山田 智明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-254095
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083439
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 視野内におけるマークの位置決め精度が比較的ラフであっても、高精度に該マークの幾何学的情報を計測できる画像計測装置を提供する。【解決手段】 本画像計測装置は、マーク25、27の画像を取得し、該マークに関する幾何学的情報を計測する。補正データ保持部37に、装置の視野の基準位置にマークを位置させた状態で計測した基準値と、該視野の一般位置にマークを位置させた状態で該情報を計測した一般値との位置偏差を、該視野の座標に対応した補正データとして予め保持しておく。そして、位置偏差補正部39で、マークの視野内位置に対応させて該マークの位置偏差を補正する。

請求項（抜粋）：

計測対象物(以下マークという)の画像を取得し、該画像を処理して該マークに関する幾何学的情報を計測する装置であって;該装置の視野の基準位置にマークを位置させた状態で該情報を計測した値(基準値)と、該視野の一般位置にマークを位置させた状態で該情報を計測した値(一般値)との差(位置偏差)を、該視野の座標に対応した補正データとして予め保持しておく補正データ保持部と、マークの視野内位置に対応させて該マークの位置偏差を補正する位置偏差補正部と、 を具備することを特徴とする画像計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G01N 21/88 E ,  G06F 15/62 405 C ,  G06F 15/70 330 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 撮影画面の歪補正方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-024074   出願人：アイシン精機株式会社
• 寸法計測装置及び計測方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-240805   出願人：住友電気工業株式会社