特許
J-GLOBAL ID：200903063262412463
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-036986
公開番号（公開出願番号）：特開平5-204158
出願日： 1992年01月29日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：
【要約】【目的】高感度、高解像度、高耐熱性であり、かつ基板に対する接着性と耐酸性に優れたポジ型レジストを得ることができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【構成】アルカリ可溶性樹脂、1,2-キノンジアジド化合物 および例えば下記式(1)【化1】で表わされる化合物を含有する感放射線性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、1,2-キノンジアジド化合物 および下記一般式(1)【化1】で表わされる化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 501
, G03F 7/004 503
, G03F 7/022
, G03F 7/075 501
, H01L 21/027
