特許
J-GLOBAL ID：200903063271532161
シリカ被膜形成用塗布液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-344975
公開番号（公開出願番号）：特開平5-179202
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月20日
要約：
【要約】【構成】 アルキルシリケート縮合体とカルボン酸との反応生成物及びテトラアルコキシシランの加水分解生成物よりなるシリカ被膜形成用塗布液。【効果】 エッチング加工特性及びクラックの発生特性に優れる。
請求項（抜粋）：
下記X成分及びY成分からなるシリカ被膜形成用塗布液。X成分:下記一般式(A)で表わされるアルキルシリケート縮合体に対し、炭素数1〜18のカルボン酸を、アルキルシリケート縮合体中のケイ素1グラム原子あたり0.2モル以上かつ(2-(<m+n>-1)/<m+n>)モル未満(ここで、<m+n>は平均縮合度を表わす。)の割合で反応させて得られるシリカ系縮合体Y成分:一般式Si(OR<SB>7 </SB>)<SB>4 </SB>(ここで、R<SB>7 </SB>アルキル基又はフェニル基を表わす。)で表わされるテトラアルコキシシラン1モルあたり水2モル以上を、有機溶媒中で混合して得られるシリカ系化合物(式中、R<SB>1 </SB>〜R<SB>5 </SB>は同一又は異なるアルキル基又はアルコキシアルキル基を、R<SB>6 </SB>はアルキル基、アルコキシ基又はアルコキシアルキル基を、mは2以上の整数を、nは0≦n<mの整数を表わす。)
IPC (2件)：
C09D183/04 PMT
, H01L 21/312
