特許

J-GLOBAL ID：200903063274042866

荷電粒子ビ-ムフォ-カシング用磁気レンズ

発明者： ステファン ダブリュ. イント
出願人/特許権者： シュルンベルジェ テクノロジーズ, インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 小橋 一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-319019
公開番号（公開出願番号）：特開2000-149842
出願日： 1999年11月10日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】 荷電粒子ビームのフォーカシングを改良した磁気的レンズを提供する。【解決手段】 本発明レンズは、内側ヨークと、外側ヨークと、巻線とを具備するポールピースを有している。レンズ外側ポールが外側ヨークへ固定されており且つビームがそれを貫通して通過するように位置決めして画定されている第一開口を具備する第一表面を有している。レンズ内側ポールが内側ヨークに固定されており且つ第一開口と整合しているがより小さな直径を有するように画定されている第二開口を具備する第二表面を有している。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームをサンプルに向かって指向させる機器用の磁気レンズにおいて、内側ヨークと、外側ヨークと、巻線とを具備するポールピース、前記外側ヨークへ固定されており且つ前記ビームがそれを貫通して通過するように位置決めして画定されている第一開口を具備する第一表面を有しているレンズ外側ポール、前記内側ヨークへ固定されており且つ前記第一開口と整合しているがより小さな内径で画定されている第二開口を具備する第二表面を有しているレンズ内側ポール、を有していることを特徴とする磁気レンズ。