特許
J-GLOBAL ID：200903063277701194
シリカ系絶縁膜形成用塗布液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-161559
公開番号（公開出願番号）：特開平8-027420
出願日： 1994年07月13日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：
【要約】【構成】 一般式 R1 4-n Si(OR2 )n (式中、R1 及びR2 は、独立に、炭素数1〜6個を有するアルキル基又は炭素数6〜10個を有するアリール基を表し、nは2〜4の整数を表す。)で表わされる有機シリコン化合物の中から選ばれた少なくとも2種(ただし、Si(OR2 )4 及びR1 2 Si(OR2)2 のみから選ばれた二種以上を除く。)を加水分解縮合して得られるシロキサン系プレポリマーと有機溶媒とから成るシリカ系絶縁膜形成用塗布液において、該プレポリマーの重量平均分子量が1000〜4000以下であり、かつ該塗布液の導電率が0.1〜100μs/cmであることを特徴とするシリカ系絶縁膜形成用塗布液。【効果】 狭いパターンでも平坦化度が良好で、経時安定性に優れたシリカ系絶縁膜形成用塗布液を提供することができる。
請求項（抜粋）：
一般式 R1 4-n Si(OR2 )n (式中、R1 及びR2は、独立に、炭素数1〜6個を有するアルキル基又は炭素数6〜10個を有するアリール基を表し、nは2〜4の整数を表す。)で表わされる有機シリコン化合物の中から選ばれた少なくとも2種(ただし、Si(OR2 )4 及びR1 2 Si(OR2 )2 のみから選ばれた二種以上を除く。)を加水分解縮合して得られるシロキサン系プレポリマーと有機溶媒とから成るシリカ系絶縁膜形成用塗布液において、該プレポリマーの重量平均分子量が1000〜4000以下であり、かつ該塗布液の導電率が0.1〜100μs/cmであることを特徴とするシリカ系絶縁膜形成用塗布液。
IPC (3件)：
C09D183/02 PMN
, C09D183/04 PMS
, H01B 3/46
