特許
J-GLOBAL ID：200903063279624650
表面欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-240118
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092106
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 高効率,高精度に表面欠陥を検査できる装置を提供する。【構成】 表面欠陥検査装置は、矢符方向に搬送されている鋼板1の表面にレーザ光を照射して反射光からその表面欠陥を検出する光学センサ2と、検出された表面欠陥の種類及び等級の判定を行う欠陥検出器3と、判定結果に基づいて再検査の要非を判断して撮像指令信号を出力する再検査判定器4と、撮像指令信号及びパルスジェネレータ6からのパルス信号に基づいて制御信号を出力するトラッキング装置5と、前記光学センサ2の下流にタンデムに配設され、表面欠陥にそれぞれ異なる方向から投光してこれを撮像する、カラーテレビカメラ7a,7b 及びストロボ8a,8b を具備する2対の撮像装置と、カラーテレビカメラ7a,7b が撮像した欠陥画像を保存する保存装置9と、前記欠陥画像を表示する表示装置10とを備える。
請求項（抜粋）：
被検査材の表面欠陥を検査し、該検査結果に基づいて再検査を要すると判断された表面欠陥を撮像する撮像手段を備える表面欠陥検査装置において、前記表面欠陥にそれぞれ異なる方向から投光すべくなしてある撮像手段を備えることを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (2件)：
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