基準板,表面検査装置の調整方法及び表面検査装置用調整装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361180
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174414
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】表面検査装置のカメラの視野の回転ズレ及び長手方向ズレを確認する。【解決手段】表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパターン31を具備してなる。

請求項（抜粋）：

被検査体に対して光を照射し、該被検査体からの反射光をカメラで受光し、受光した光を解析して該被検査体の表面に存在する表面疵を検出する表面検査装置の調整に用いられる基準板であって、表面に前記カメラの視野範囲以上の長さの基準線を中心にして上下に互い違いに三角形が描かれたパターンを具備してなることを特徴とする基準板。

IPC (5件)：

G01N 21/892 , G01B 11/00 , G01B 11/26 , G01N 21/93 , G05D 3/12

FI (5件)：

G01N 21/892 B , G01B 11/00 H , G01B 11/26 H , G01N 21/93 , G05D 3/12 L

Fターム (50件)：

2F065AA12 , 2F065AA31 , 2F065AA39 , 2F065BB13 , 2F065BB28 , 2F065CC06 , 2F065EE00 , 2F065EE03 , 2F065EE09 , 2F065FF42 , 2F065FF49 , 2F065FF61 , 2F065HH12 , 2F065JJ02 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ25 , 2F065LL12 , 2F065LL21 , 2F065LL32 , 2F065NN20 , 2F065PP12 , 2F065QQ05 , 2F065QQ17 , 2F065QQ18 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ28 , 2F065QQ30 , 2G051AA37 , 2G051AA90 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051CA03 , 2G051DA06 , 2G051EA11 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EC02 , 5H303AA20 , 5H303BB01 , 5H303BB06 , 5H303BB11 , 5H303DD01 , 5H303EE03 , 5H303EE07 , 5H303FF13 , 5H303GG12 , 5H303HH02

引用特許：

出願人引用 (3件)

撮像装置の視野位置ずれ調整用被写体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-199055 出願人：富士電機株式会社
特開昭62-157764
特開昭62-157760

審査官引用 (3件)

撮像装置の視野位置ずれ調整用被写体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-199055 出願人：富士電機株式会社
特開昭62-157764
特開昭62-157760

前のページに戻る