特許

J-GLOBAL ID：200903063298920724

容量検出式放射検出センサおよびこれを用いた映像化装置

発明者： 正田 昌宏
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-148914
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337968
出願日： 1999年05月27日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】従来の容量検出式放射検出センサでは、温度により曲率が異なる板状センシング部の電極に電気的な接続をとるために、板状センシング部から基板にわたって配線金属が設けられており、この経路で板状センシング部からの熱が基板に逃げてしまい、放射の検出感度が悪いという問題があった。本発明は検出感度が良い容量検出式放射検出センサを提供する。【解決手段】基板と、基板上に配置された第1の下部電極および第2の下部電極と、基板上に配置された絶縁物からなる1または2以上の支持部と、温度により曲率が異なる板状センシング部と、第1および第2の下部電極に対向して配置された上部電極および、第1および第2の下部電極間の電気容量を検出する手段とを有し、板状センシング部は、第1および第2の下部電極と所定の間隔を持って対向するように一端を支持部に固定され、かつ、異なる膨張係数を有する異なる物質が積層した二層膜からなり、上部電極は、温度変化による板状センシング部の曲率の変化に伴い移動するように配置されている容量検出式放射検出センサを提供する。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板上に配置された第1の下部電極および第2の下部電極と、前記基板上に配置された絶縁物からなる1または2以上の支持部と、温度により曲率が異なる板状センシング部と、前記第1および前記第2の下部電極と対向するように配置された上部電極および、前記第1および前記第2の下部電極間の電気容量を検出する手段とを有し、前記板状センシング部は、前記第1および前記第2の下部電極と所定の間隔を持って対向するように一端を前記支持部に固定され、かつ、異なる膨張係数を有する異なる物質が積層した二層膜からなり、前記上部電極は、温度変化による前記板状センシング部の曲率の変化に伴い移動するように配置されていることを特徴とする容量検出式放射検出センサ。

IPC (5件)：

G01J 5/40 ,  G01J 1/42 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/00 ,  H04N 5/33

FI (5件)：

G01J 5/40 ,  G01J 1/42 B ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 B

Fターム (39件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065AB05 ,  2G065BA34 ,  2G065BA40 ,  2G065BB24 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  2G066BA20 ,  2G066BB09 ,  2G066CA02 ,  4M118AA01 ,  4M118BA06 ,  4M118BA10 ,  4M118BA14 ,  4M118BA30 ,  4M118CA17 ,  4M118CA35 ,  4M118FA06 ,  4M118GA10 ,  5C024AA06 ,  5C024AA11 ,  5C024AA16 ,  5C024CA12 ,  5C024CA31 ,  5C024FA01 ,  5C024FA09 ,  5C024FA11 ,  5F088BA01 ,  5F088BB06 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA14 ,  5F088HA11 ,  5F088KA08 ,  5F088LA01 ,  5F088LA05 ,  5F088LA08