特許
J-GLOBAL ID：200903063301633812
露光方法及び装置、ステージモジュール、露光装置の製造方法、並びにデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-021530
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291663
出願日： 2001年01月30日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：
【要約】【課題】 ステージ系等の組立調整を容易に、かつ効率的に行えるようにする。【解決手段】 定盤32、コラム33、支持板35,37等からフレーム機構(32〜37)を組み立てた後、照明系を備えたサブチャンバ9,19を設置し、支持板37に投影光学系PLを搭載し、この作業と並行して、レチクル室23及びレチクルステージ系RSTの組立調整、並びにウエハ室38及びウエハステージ系WSTの組立調整を行う。投影光学系PLが搭載されたフレーム機構(32〜37)にモジュール方式でレチクル室23及びウエハ室38を組み込み、レチクル室23、ウエハ室38等の内部に露光光を透過するパージガスを供給する配管等を配置し、投影光学系PLとウエハ室38との間の空間等を可撓性のある膜状の軟性シールド部材18D等で密閉する。
請求項（抜粋）：
露光ビームで第1物体を介して第2物体を露光する露光装置であって、フレームと;前記第1物体を保持して移動する第1ステージ系を収納すると共に前記フレームに対して着脱可能に装着される第1ステージ室と;前記第2物体を保持して移動する第2ステージ系を収納すると共に、前記フレームに対して着脱可能に装着される第2ステージ室とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 505
, G03F 7/22
G03F 7/20 505
, G03F 7/22 H
, H01L 21/30 515 F
, H01L 21/30 515 G
, H01L 21/30 516 F
