特許

J-GLOBAL ID：200903063305405016

磁気感応素子

発明者： 下嶋 浩正 ,  石井 守 ,  塚本 惠三 ,  山岸 千丈
出願人/特許権者： 日本セメント株式会社
代理人 (1件)： 厚田 桂一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-255992
公開番号（公開出願番号）：特開平5-067817
出願日： 1991年09月09日
公開日（公表日）： 1993年03月19日
要約：

【要約】【目的】 磁気抵抗効果を利用した酸化物超伝導多結晶薄膜からなる磁気感応素子の水分による劣化を防止する。【構成】 酸化物超伝導多結晶薄膜の表面に、 600°C以下でガラス化させた絶縁性ガラス保護膜を有する磁気感応素子。【効果】 ガラス保護膜により、水分の侵入による超伝導膜の劣化が防止され、磁気感応素子として長期間高感度を保持する。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上又は絶縁相の緩衝膜を設けた金属若しくは半導体の基板上に作製した酸化物超伝導多結晶薄膜の表面に、 600°C以下でガラス化させた絶縁性ガラス保護膜を有する磁気感応素子。

IPC (2件)：

H01L 39/22 ZAA ,  H01L 39/02 ZAA

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平2-098979
  
• 特開昭62-018778
  
• 特開平2-075108
  
• 特開昭63-318016
  
• 特開平2-027279