特許
J-GLOBAL ID：200903063308606993
回転ユニット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-161974
公開番号（公開出願番号）：特開平9-014836
出願日： 1995年06月28日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：
【要約】【目的】 載置部への液晶基板あるいは半導体基板等の載置、離脱を容易にし、基板等の不良の発生を解消して、基板等の載置、離脱に際して基板等の位置決め精度の高度な要求を押さえた回転ユニットを提供すること。【構成】 静止状態において基板保持ピン部が外側に傾斜した回転ユニットが回転すると、基板載置部あるいはアーム部の外側端部に枢着された重錘部は回転による遠心力により枢着部を軸として外側に移動し、基板保持ピン部が直立する。直立した基板保持部により、基板は基板載置部のほぼ中心位置に保持され、所定の回転処理が行われる。所定の回転処理が施行されると回転ユニットは静止し、基板載置部あるいはアーム部の外側端部に枢着された基板保持部は枢着部を軸として静止位置に移動し、再び基板保持ピン部が外側に傾斜する。
請求項（抜粋）：
回転可能な基板載置部と前記基板載置部の外側に等配して設けられ基板を前記基板載置部のほぼ中心位置に保持する基板保持部とを有する回転ユニットにおいて、前記基板保持部が、前記基板を保持する基板保持ピン部と前記基板保持ピン部の下部に連結する前記基板保持ピン部の中心軸から偏心した重心を持つ重錘部とからなり、前記回転ユニットが静止状態のとき前記基板保持ピン部が外側に傾斜し、前記回転ユニットが回転状態のとき前記基板保持ピン部が前記重錘部が遠心力により直立状態となるように、前記重錘部の重心位置を外側にして、前記重錘部を前記基板載置部の外側端部へ枢着してなることを特徴とする回転ユニット。
IPC (5件)：
F26B 11/08
, F26B 5/08
, H01L 21/027
, H01L 21/304 361
, H01L 21/68
F26B 11/08
, F26B 5/08
, H01L 21/304 361 S
, H01L 21/68 N
, H01L 21/30 564 C
