特許
J-GLOBAL ID：200903063308748372
渦流量計センサ及び渦流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
高野 明近
, 岩野 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-077353
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286514
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：
【課題】被測定流体の密度と圧力とを検出することが可能なセンサを提供する。【解決手段】密度・圧力センサ10は、固有振動数を同じくし且つ受圧部分の面積を異ならせた2つの振動部材18a,18bと、各振動部材を共振させるよう駆動する共振駆動手段(バイモルフ17a,17b)と、各振動部材が受ける力を夫々検出する2つの検出素子(圧電素子15a,15b)と、を備える。共振駆動手段17a,17bにより各振動部材18a,18bを被測定流体の密度に応じた共振周波数で振動させることで、共振周波数により被測定流体の密度を算出し、且つ、2つの検出素子15a,15bの双方又は一方の出力信号により、振動部材18a,18bで被測定流体から受ける、渦発生体に伴う交番差圧を測定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
渦流量計において被測定流体の密度と渦発生体に伴う交番差圧を検出するための渦流量計センサであって、固有振動数を同じくし且つ受圧部分の面積を異ならせた2つの振動部材と、各振動部材を共振させるよう駆動する共振駆動手段と、各振動部材が受ける力を夫々検出する2つの検出素子と、を備え、前記共振駆動手段により各振動部材を被測定流体の密度に応じた共振周波数で振動させることで、該共振周波数により被測定流体の密度を算出し、且つ、前記2つの検出素子の双方又は一方の出力信号により、振動部材で被測定流体から受ける交番差圧を検出することを特徴とする渦流量計センサ。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01F1/32 R
, G01F1/32 F
, G01F1/32 M
, G01F1/86
