特許

J-GLOBAL ID：200903063310005514

フツ素系エキシマレーザ装置

発明者： 石原 孝信 ,  藤本 准一 ,  溝口 計
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263159
公開番号（公開出願番号）：特開平5-075182
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】 レーザ媒質ガスの寿命を延長させることにより、所定のレーザ出力を長期に渡って維持する。【構成】 レーザ媒質ガス41と接触する絶縁物3を純度99.5%以上のアルミナセラミックとした。

請求項（抜粋）：

フッ素系エキシマレーザ装置において、レーザ媒質ガス41と接触する絶縁物3が純度99.5%以上のアルミナセラミックである構成を特徴とするエキシマレーザ装置。