特許

J-GLOBAL ID：200903063314443400

光学式振動センサ

発明者： 木村 光照 ,  大澤 理加
出願人/特許権者： 株式会社高岳製作所 ,  木村 光照
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-297585
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107105
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：

【要約】【目的】 光ファイバとカンチレバを用いた光学式振動センサにおいて、製造にあたって、光学系とカンチレバの位置合わせと、カンチレバ部分の製造を容易にする。【構成】 基板10の一面上に、それぞれ反射膜11aを有する複数のカンチレバ11を、互いに直交する方向に並べて一体に形成する。基板10にはロッドレンズ21とネオジウムドープガラス22を介して光ファイバ30を取り付ける。

請求項（抜粋）：

基板の一面上に、それぞれ反射膜を有する複数のカンチレバが互いに交差する方向に並べられて一体に形成され、前記基板に光学系を介して光ファイバが取り付けられ、前記複数のカンチレバの反射膜に同時に光が照射される光学式振動センサ。