特許

J-GLOBAL ID：200903063315758383

電子加熱ホットプレート装置

発明者： 宮本 和夫
出願人/特許権者： 株式会社ムサシノエンジニアリング
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-402604
公開番号（公開出願番号）：特開2003-178864
出願日： 2001年12月11日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【目的】被加熱サンプルを急速昇温降温させる。【構成】被加熱サンプルと接する導電性のホットプレート1とカソード基板4で構成される電子加熱ホットプレート装置において、前記カソード基板の表面にカーボンナノチューブを塗布してあることを特徴とする電子加熱ホットプレート装置。

請求項（抜粋）：

被加熱サンプルと接する導電性のホットプレート1とカソード基板4で構成される電子加熱ホットプレート装置において、前記カソード基板の表面にカーボンナノチューブを塗布してあることを特徴とする電子加熱ホットプレート装置。

IPC (3件)：

H05B 7/08 ,  H01L 21/027 ,  H05B 7/00

FI (3件)：

H05B 7/08 Z ,  H05B 7/00 Z ,  H01L 21/30 567

Fターム (6件)：

3K084AB00 ,  3K084BA07 ,  3K084CA00 ,  3K084CB07 ,  3K084DA00 ,  5F046KA03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平4-062389
  
• 特開昭61-054184
  
• 特開昭61-140097