特許

J-GLOBAL ID：200903063316469733

プローブカード

発明者： 大川 竜也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-338568
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153887
出願日： 1999年11月29日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 高真空雰囲気、高温雰囲気等の過酷な環境でも十分使用できるように、プローブ針を強固に固定する構成を備えたプローブカードを提供する。【解決手段】 本プローブカードは、プローブ針14を固定するプローブブロック20として、上端部でプローブカード基板に固定される上部ブロック22と、上部ブロック22に埋め込みボルト24で連結、締結される下部ブロック26とを備え、更に、上部ブロック22と下部ブロック26との間に、下部挟持板28と上部挟持板32とからなる絶縁性プローブ針挟持治具を有する。上部ブロック及び下部ブロックはステンレス鋼で形成されている。下部挟持板は、下部ブロック上に設けられ、金属に比べて剛性の低い絶縁性のテフロン板である。下部挟持板の上面には、基板の電極の配置に合わせて配列され、かつ深さがプローブ針の直径より浅いV溝30が形成され、プローブ針を収容する。上部挟持板は、テフロン板である。

請求項（抜粋）：

プローブ針を下端で保持し、上端でプローブカード基板に連結されたプローブブロックを有するプローブカードにおいて、プローブブロックが、プローブカード基板に取り付けられる上部ブロックと、上部ブロックに締結される下部ブロックと、プローブ針を挟持する絶縁性プローブ針挟持治具とを備え、プローブ針を挟持した絶縁性プローブ針挟持治具を上部ブロックの下端面と下部ブロックの上端面との間に介在させ、上部ブロックと下部ブロックとを締結することにより、プローブ針を強固に挟持するようにしたことを特徴とするプローブカード。

IPC (2件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

Fターム (11件)：

2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AD01 ,  2G011AF06 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10 ,  4M106DD18