特許

J-GLOBAL ID：200903063318801905

CT用固体検出器

発明者： 戸波 寛道
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-104497
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295431
出願日： 1998年04月15日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】シンチレータとホトダイオードモジュールの高精度の光学的な加工技術、位置決め等を必要としないCT用固体検出器を提供する。【解決手段】チャンネル数の正電極用金属パターン4を一体型絶縁基板9上に設け、その上にスパッタ法やCVD法で入射X線量に応じて電気信号を取り出すことのできるX線変換膜3(CdTe等)を成膜し、さらに表面にAlまたはAu等で負電極用金属膜2をスパッタ法で成膜する。そして、その上層に入射するX線をX線変換膜3に各チャンネル毎に等量になるようにマスクすることができるX線遮蔽物質1(WやMo等)をCVD法で作成する。このようにして製作した検出器部を基台に取り付け、散乱線遮蔽プレート12を保持している支持板と組み合わせる。

請求項（抜粋）：

X線CT装置の固体検出器において、検出器チャンネル数に対応する電極パターンを有する絶縁基板と、該絶縁基板上に入射X線量に応じて電気信号を出力することのできるX線変換膜と、電極膜とを備え、該電極膜上で電極パターン間に位置する部分にX線遮蔽物質を形成し、該X線遮蔽物質の幅よりも厚さの薄い散乱線遮蔽プレートを上方に備えることを特徴とするCT用固体検出器。

IPC (2件)：

G01T 1/20 ,  A61B 6/03 320

FI (2件)：

G01T 1/20 G ,  A61B 6/03 320 R