特許
J-GLOBAL ID：200903063324000639
加熱ステージ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
七條 耕司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-385730
公開番号（公開出願番号）：特開2005-150390
出願日： 2003年11月14日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：
【課題】従来のセラミックヒータに代えて、ウエハ等の被加熱物を高温に加熱することができると共に、加熱中に不純物の発生による被加熱物の汚染を防止することを可能にした加熱ステージを提供することにある。【解決手段】加熱ステージ1として、被加熱物12を支持する領域を有する表面を備えるとともに、減圧または不活性ガスで充填された内部空間を有するガラス製のステージ部2と、上記内部空間に配置された加熱手段としてのランプ3と、上記ランプ3に給電するとともに、上記内部空間と外部とを遮断する、上記ステージ部2と一体に形成されるコネクタ部10とを備えることを特徴とする。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加熱物を支持する領域を有する表面を備えるとともに、減圧または不活性ガスで充填された内部空間を有するガラス製のステージ部と、上記内部空間に配置された加熱手段としてのランプと、上記ランプに給電するとともに、上記内部空間と外部とを遮断する、上記ステージ部と一体に形成されるコネクタ部とを備えることを特徴とする加熱ステージ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030FA03
, 4K030FA10
, 4K030FA14
, 4K030KA14
, 4K030KA23
, 4K030KA46
, 4K030LA15
, 5F045AA08
, 5F045AB33
, 5F045BB14
, 5F045EK13
, 5F045EK14
, 5F045EM02
