特許

J-GLOBAL ID：200903063324312533

搬送装置及びこの搬送装置を有する検査装置

発明者： 中込 陽一 ,  横森 秀人
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社 ,  テル・エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小原 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-091766
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264619
出願日： 1995年03月24日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】 大型で薄くて撓みやすいLCD用基板であっても、カセットにおいてLCD用基板を円滑に出し入れでき、しかもLCD用基板を安定的且つ確実に保持して搬送できる搬送装置を提供する。【構成】 本搬送装置14は、カセットCの内側面に上下方向で所定間隔をあけた複数の支持溝C1により水平に支持されたLCD用基板Sを1枚ずつ保持し、そのLCD用基板SをカセットCとLCD用基板Sの検査部12との間で搬送する搬送装置14において、上記搬送装置14に、上記LCD用基板Sを保持した時に生じるLCD用基板Sの撓みを少なくとも3箇所に分散するアーム26、27を設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

カセットの内側面に上下方向で所定間隔をあけて形成された複数の支持溝により水平に支持された液晶表示体用基板を1枚ずつ保持し、その液晶表示体用基板をカセットと液晶表示体用基板の処理部との間で搬送する搬送装置において、上記搬送装置に、上記液晶表示体用基板を保持した時に生じる液晶表示体用基板の撓みを少なくとも3箇所に分散するアームを設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  G01R 31/00

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 49/07 C ,  G01R 31/00

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-091885
  
• 特開平4-091885