特許
J-GLOBAL ID：200903063324748951
プローブカード検査方法
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 敏彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329046
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166892
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 プローブカード36の測定針37の針先滑りを迅速かつ高精度に検査する。【構成】 検査されるプローブカード36の針先先端パターン等のカードデータを装置に入力して記憶し、次に前記プローブカード36の測定針37に透明ガラス平板34を少いオーバドライブ量で押し付け、前記カードデータに従って透明ガラス平板34側から光学顕微鏡38及びCCDカメラ39からなる針先観察装置を順次XYテーブルで移動させ、これによって複数の針先を順次追い掛け、各理想位置において第1の針先画像を認識する。次に、プローブカード36の測定針37に透明ガラス平板34を多いオーバドライブ量で押し付け、前述したと同様の針先画像の認識を第2データ検出として行う。そして、前記両針先画像を各測定針毎に所定の詳細表示枠100とともにディスプレイ47上に画像表示し、針先の滑り方向及び滑り量を判定する。
請求項（抜粋）：
検査されるプローブカードのカードデータを記憶する工程と、前記プローブカードの測定針にガラス平板を少いオーバドライブ量で押し付け、前記カードデータに従ってガラス平板を通して複数の針先を順次追い掛けて画像認識する第1の針先位置測定工程と、前記プローブカードの測定針にガラス平板を多いオーバドライブ量で押し付け、前記カードデータに従ってガラス平板を通して複数の針先を順次追い掛けて画像認識する第2の針先位置測定工程と、前記第1及び第2の針先画像データをメモリに記憶する工程と、前記記憶された両針先画像データを測定針毎に呼び出して判定基準枠とともに順次画像表示する工程と、を含むプローブカード検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
