特許

J-GLOBAL ID：200903063326455188

スピロビインダンフェノールスルホン酸エステルおよびその用途

発明者： 浦上 達宣 ,  詫摩 啓輔
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305490
公開番号（公開出願番号）：特開平9-143146
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：

【要約】【解決手段】 式(1)で表されるスピロビインダンスルホン酸エステルおよび酸発生剤として該スルホン酸エステルを含有するポジ型レジスト材料。(式中、R1 は置換されていてもよいアルキル基または置換されていてもよいアリール基を表し、R2 は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ニトロ基またはハロゲン原子を表し、mは1または2を表し、nは1〜3の整数を表し、n+mは4以下である)【効果】 感度および解像度の優れた高エネルギー線用ポジ型レジスト材料を提供する。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)(化1)で表されるスピロビインダンフェノールスルホン酸エステル。【化1】(式中、R1 は置換されていてもよいアルキル基または置換されていてもよいアリール基を表し、R2 は水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ニトロ基またはハロゲン原子を表し、mは1または2を表し、nは1〜3の整数を表し、n+mは4以下である)

IPC (3件)：

C07C309/65 ,  C07C309/72 ,  G03F 7/004 503

FI (3件)：

C07C309/65 ,  C07C309/72 ,  G03F 7/004 503

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭56-159644