特許

J-GLOBAL ID：200903063334353173

X線多層膜反射鏡の製造方法

発明者： 村上 勝彦 ,  押野 哲也
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-037898
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232299
出願日： 1992年02月25日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：

【要約】【目的】 X線多層膜反射鏡の耐熱性を向上させる。【構成】 互いに屈折率の異なる3種類の物質A、B、Cをターゲット3a、3b、3cとしたスパッタリング法により、A/C/B/Cの順に前記各物質からなる薄膜を積層し、これを複数回繰り返すことで多層膜を形成するようにした。そして、スパッタリングを行う際、不活性ガスのイオン7をターゲット3に照射するようにした。

請求項（抜粋）：

互いに屈折率の異なる3種類の物質A、B、Cをターゲットとしたスパッタリング法により、A/C/B/Cの順に前記各物質からなる薄膜を積層し、これを複数回繰り返すことで多層膜を形成することを特徴とするX線多層膜反射鏡の製造方法。

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-242201