特許

J-GLOBAL ID：200903063335557880

電子ビーム像用TDIセンサ及びマスク検査装置

発明者： 丸山 聡 ,  イツコビッチ モチ ,  ナイシュタイン イヤル
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (5件)： 石田 敬 ,  鶴田 準一 ,  土屋 繁 ,  西山 雅也 ,  樋口 外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-042603
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251764
出願日： 2003年02月20日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】電子ビーム用マスクのパターンの欠陥検査の一層の高速化及び高精度化を可能にする電子ビーム像用TDIセンサの実現。【解決手段】ファイバー光プレート(FOP)76と、FOPの一方の端面に設けられ、電子ビームの像を光学像に変換するシンチレータ75と、FOP76の他方の端面に近接して設けられた時間遅延積分型(TDI)光イメージセンサ77とを備え、FOP76の他方の端面とTDIイメージセンサ77の間は、光透過性の接着剤80で接着されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ファイバー光プレートと、 前記ファイバー光プレートの一方の端面に設けられ、電子ビームの像を光学像に変換するシンチレータと、 前記ファイバー光プレートの他方の端面に近接して設けられた時間遅延積分型(TDI)光イメージセンサとを備え、 前記ファイバー光プレートの他方の端面と前記時間遅延積分型光イメージセンサの間は、光透過性の接着剤で接着されていることを特徴とする電子ビーム像用TDIセンサ。

IPC (3件)：

G01B15/00 ,  G03F1/08 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G01B15/00 B ,  G03F1/08 S ,  H01L21/30 541S

Fターム (13件)：

2F067AA45 ,  2F067BB04 ,  2F067CC16 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL00 ,  2F067LL16 ,  2F067RR11 ,  2H095BD14 ,  2H095BD17 ,  5F056BA10 ,  5F056FA05