特許
J-GLOBAL ID：200903063338125493

スタンパーの製造方法

発明者：
森田 成二

森田 成二 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-308224
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161080
出願日： 1993年12月08日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】グルーブとランドの境界の側壁表面粗さを低減して、ノイズレベルが低く、かつ、耐久性に優れた光ディスク用のスタンパーの製造方法を提供する。【構成】原盤素材として合成石英を用い、CHF3 を腐食ガスとして、ガス圧0.5 Pa未満、自己バイアス電圧 500V以下で反応性イオンエッチングを行う。
請求項（抜粋）：
原盤にレジストを塗布する工程、レーザー光により前記レジストを露光する工程、現像処理を行う工程、反応性イオンエッチングにより前記原盤をエッチングする工程、及び残留した前記レジストを剥離する工程より成るスタンパーの製造方法において、前記原盤素材を合成石英とし、前記反応性イオンエッチングにおける腐食ガスをCHF3 、ガス圧を 0.5 Pa 未満、及び自己バイアス電圧を 500V以下とすることを特徴とするスタンパーの製造方法。
引用特許：
審査官引用 (17件)
  • 特開平4-241237
  • 特開平4-241237
  • 特開昭60-147946
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM