特許

J-GLOBAL ID：200903063347397412

ワイヤーソー装置及びワイヤーソーを用いた切断方法

発明者： 田中 謙吾
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社
代理人 (1件)： 松山 允之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-281915
公開番号（公開出願番号）：特開2003-089050
出願日： 2001年09月17日
公開日（公表日）： 2003年03月25日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、複数の被加工物をワイヤーソーを用いて切断するにあたって、下段被加工物を切断する際のワイヤー撓みを抑制し、切断されたウェハの平坦度精度や反りの劣化を防止するものである。【解決手段】 本発明は、被加工体を切断するためのワイヤーを保持する溝を表面に多数形成し、該溝に捲回張架された該ワイヤーを駆動走行させるための複数の多溝ローラーと、該被加工体を保持し、該被加工体を該ワイヤーの走行方向と直交する方向に変位させる複数の加工テーブルを備えたワイヤーソー装置を用いて、複数の該加工テーブルのそれぞれに該被加工体を固定し、走行する該ワイヤーに該被加工体を圧接して切断するさいに、該ワイヤーの走路の内の下部の走路において該多溝ローラーに接して、該多溝ローラーと協同して該ワイヤーを挟持する少なくとも1つの撓み防止用ローラーを配置したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

張架されたワイヤーを案内する溝を表面に複数形成し、該ワイヤーを駆動走行させるための複数の多溝ローラーと、被加工体を保持し、該被加工体を該ワイヤーの走行方向と交差する方向に変位させる複数の加工テーブルとを少なくとも備えたワイヤーソー装置において、該ワイヤーの走路の下部において該多溝ローラーに接して、該多溝ローラーと協同して該ワイヤーを挟持する少なくとも1つの撓み防止用ローラーを配置することを特徴とするワイヤーソー装置。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04

FI (3件)：

B24B 27/06 Q ,  B24B 27/06 R ,  B28D 5/04 C

Fターム (25件)：

3C058AA05 ,  3C058AA11 ,  3C058AA12 ,  3C058AA14 ,  3C058AA16 ,  3C058AB01 ,  3C058AB06 ,  3C058AC01 ,  3C058AC02 ,  3C058BC01 ,  3C058BC02 ,  3C058CB01 ,  3C058CB03 ,  3C058DA03 ,  3C058DA17 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB01 ,  3C069BB03 ,  3C069BB04 ,  3C069BC02 ,  3C069CA04 ,  3C069DA03 ,  3C069EA02 ,  3C069EA03