特許

J-GLOBAL ID：200903063373425238

搬送装置

発明者： 浅川 輝雄 ,  池田 亨 ,  岩田 輝夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335223
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163669
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 被処理体の搬送に伴う搬送路内の気体の気流の発生を抑制することにより被処理体の表面にパーティクルの付着を未然に防止する搬送装置を提供するものである。【構成】 被処理体20を搬送する搬送手段30と、前記被処理体20が前記搬送手段30により搬送される気密にされた搬送路3,4,5,8を備えた搬送装置1において、前記搬送路3,4,5,8を空気の比重より重い比重の気体により充満させるとともに、前記搬送路3,4,5,8に前記気体を供給する供給手段100を設け構成されたものである。

請求項（抜粋）：

被処理体を搬送する搬送手段と、前記被処理体が前記搬送手段により搬送される気密にされた搬送路を備えた搬送装置において、前記搬送路を空気の比重より重い比重の気体により充満させるとともに、前記搬送路に前記気体を供給する供給手段を設けたことを特徴とする搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-313212
  
• 特開平3-001554
  
• 特開昭61-142374