特許

J-GLOBAL ID：200903063374110125

光変位センサー

発明者： 渡辺 章夫
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-345750
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232109
出願日： 1996年12月25日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】従来と同等の精度が得られる低コストな光変位センサーを提供すること。【解決手段】広帯域光源1から出射された光波は、偏光解消子3によって無偏光化され、単一モード光ファイバー型3dBカプラー5に導かれ、そこで二分される。二分された一方の光波は、参照光として、位相変調機能と偏光子機能とを有する光導波路位相変調素子7から該3dBカプラー5に戻ってくる。他方の光波は、測定光として、レンズ14を経て被測定物から該3dBカプラー5に戻ってくる。参照光と測定光の位相差に応じて、信号光が受光器16に送られ、狭帯域フィルター20を透過し受光素子21に入射するようになっている。そして、参照光と測定光の光路長差を、狭帯域フィルター20の帯域幅で決まる干渉長以下とすることによって、光導波路10や光ファイバー6,12の端面を垂直にでき、斜めに加工しなくて済むようになっている。

請求項（抜粋）：

広帯域光源と、偏光解消子と、単一モード光ファイバー型3dBカプラーと、位相変調機能と偏光子機能とを有する光導波路素子と、少なくとも一つの狭帯域フィルターと、受光素子とを備え、参照光路と測定光路の光路長差が、前記狭帯域フィルターの帯域幅で決まる干渉長以下であることを特徴とする光変位センサー。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G02B 6/12

FI (4件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 11/00 F ,  G01B 9/02 ,  G02B 6/12 Z