特許

J-GLOBAL ID：200903063374315061

液体原料気化装置

発明者： 堀江 邦明 ,  中田 勉 ,  鈴木 秀直 ,  村上 武司 ,  阿部 祐士 ,  荒木 裕二 ,  栗山 文夫
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148542
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074746
出願日： 1997年05月22日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 高誘電体の素材となる複雑な気化特性を持つような液体原料を効率良く気化するとともに、微少量を精度良く制御し、気化装置内や配管内の詰まりを防止できるようなコンパクトな気化装置を提供する。【解決手段】 液体原料Lを液化温度以下に保ちながら定量づつ供給する供給部と、供給部より供給された液体原料Lを液化温度以上に加熱する気化部とを備え、供給部と気化部の間には、液体原料Lを連続的に授受するために微少の隙間t1,t2を保って形成された架橋部Brが形成されている。

請求項（抜粋）：

液体原料を気化温度以下に保ちながら定量づつ供給する供給部と、上記供給部より供給された液体原料を気化温度以上に加熱する気化部とを備え、上記供給部と上記気化部の間には、液体原料を連続的に授受するために微少の隙間を保って形成された架橋部が形成されていることを特徴とする液体原料気化装置。

IPC (3件)：

H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/31 B ,  C23C 16/44 C ,  H01L 21/205