特許
J-GLOBAL ID：200903063376419719
結晶の格子歪み測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-146569
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304307
出願日： 1996年05月16日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 試料結晶の結晶性に由来しない、X線トポグラフの不均一な回折X線強度分布を補正して、結晶の正確な格子歪みを検出する方法を提供する。【解決手段】 本発明方法は、X線トポグラフ撮像用の光学システムを使用して、X線トポグラフを撮像し、また、回折X線強度曲線を同時測定する。次いで、回折X線強度曲線から試料結晶のブラッグ条件の差を求め、更に、連続した領域での回折X線強度曲線のピーク強度変動を求め、それらの値を用いて、試料結晶のX線トポグラフの回折X線強度分布を補正し、補正された回折X線強度分布から、それぞれ結晶性に由来しない成分を含まない、格子面間隔の変動率Δd/dと格子面方位の変動Δαを求める。
請求項（抜粋）：
試料結晶(歪みを測定すべき単結晶)の回折X線強度分布と回折X線強度曲線とに基づいて、試料結晶の格子歪みを規定する格子面間隔dの変動率Δd/dと格子面方位の変動Δαを算出するようにした、結晶の格子歪み測定方法において、(1)ブラッグピーク近傍の角度位置で試料結晶のX線トポグラフを撮像するステップと、(2)試料結晶をブラッグピークの近傍で微小回転させつつ、かつ散乱面に直交する方向に記録媒体をトラバースさせつつ、散乱面に平行な連続した試料結晶領域からの回折X線強度を記録媒体に記録するステップと、(3)(2)のステップで記録媒体に記録したX線露光像(トラバース像)から、試料結晶の回転角に対する回折X線強度分布の散乱面に沿った方向への移動量の割合を求めるステップと、(4)試料結晶上の散乱面に沿った方向のブラッグ角の差を移動量の割合に基づいて割り出し、別途、測定した試料結晶の回折X線強度曲線(ロッキングカーブ)に基づいて試料結晶のX線トポグラフの回折X線強度分布を補正するステップと、(5)トラバース像から、散乱面に沿った方向のピーク強度変動を求めるステップと、(6)ピーク強度変動に基づいて、(4)のステップで補正した回折X線強度分布を更に補正するステップと、(7)(6)のステップで補正した回折X線強度分布に基づいて試料結晶の格子面間隔dの変動率Δd/d及び格子面方位の変動Δαを算出するステップとを備えていることを特徴とする結晶の格子歪み測定方法。
IPC (3件)：
G01N 23/205
, G01N 23/207
, H01L 21/66
G01N 23/205
, G01N 23/207
, H01L 21/66 N
