特許
J-GLOBAL ID：200903063377446680
透明支持体の内部異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-003312
公開番号（公開出願番号）：特開平9-189668
出願日： 1996年01月11日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：
【要約】【課題】 透明支持体の内部異物検査能力の向上を図る。【解決手段】 偏光顕微鏡は、下方から順に、光源11、コンデンサレンズ12、偏光子13、集光器14、ステージ15、対物レンズ16、検光子17、及び接眼レンズ18で構成され、検光子17と偏光子13との偏光方向とが互いに直交となる状態から検光子17の偏光方向を±5度〜±20度の範囲でずらして配置し、検光子17を透過した光の情報に内部異物の周りの明部の情報と異物自体の輪郭情報とを持たせる。この情報をテレビカメラ20で取り込んで、取込み画像から内部異物と表面付着異物とを検査手段21で判別する。また、検査手段21では、内部異物のうち異物と気泡等の泡部とを判別して内部異物検査の信頼性を向上させた。
請求項（抜粋）：
検査対象となる透明支持体の一方の面との間に偏光子を配置し、前記偏光子に光を照射してこの偏光子の偏光方向と平行の偏光方向である照明光を前記透明支持体の一方の面に照射する照明手段と、前記透明支持体の他方の面との間に検光子を配置し、前記検光子を透過した光に基づいて内部異物を検査する検査装置であって、前記検光子は、前記偏光子に対して互いの偏光方向が直交する位置から±5度〜±20度の角度で偏光方向をずらして配置されていることを特徴とする透明支持体の内部異物検査装置。
引用特許：
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