特許

J-GLOBAL ID：200903063377554431

位置計測方法、及び該方法を用いる露光方法

発明者： 中島 伸一 ,  吉田 幸司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017223
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214289
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】 種々のノイズの影響を受けにくく、検出対象物から得られる計測信号に基づいて、その検出対象物の位置を高精度に計測できる位置計測方法を提供する。【解決手段】 検出対象のウエハマークを撮像して得られる計測信号のパターンA’の内で、先頭からp番目よりI個までのデータを切り出して被検パターンAとする。DP(Dynamic Programming)マッチング法を適用して、被検パターンAと標準パターンBとの間の各データ対の距離の和が最小、又は最大になるときのその和を、両パターンA,B間の距離とする。被検パターンAを切り出すときのシフト量(p)を次第に変化させてそれぞれ両パターンA,B間の距離を求め、この距離が最小値、又は最大値を取るときのシフト量(p)を、その計測信号のパターンA’の位置ずれ量とする。

請求項（抜粋）：

所定の標準パターンと、検出対象物から得られる計測信号のパターンとを比較することによって、前記検出対象物の位置を計測する位置計測方法において、前記標準パターンを構成するデータの個数をJ個(Jは2以上の整数)として、前記計測信号のパターン中のp番目(pは1以上の整数)のデータから連続するI個(Iは2以上の整数)のデータを抽出し、前記標準パターンを構成するJ個のデータに対して前記計測信号のパターンから抽出されたI個のデータを対応付けて、該対応付けられた1対のデータ毎にそれぞれ所定の距離を求め、前記対応付けられたJ対、又はI対のデータについての前記距離の和を求め、該距離の和が極値を取るように前記J個のデータと前記I個のデータとの対応付けを行ったときの前記距離の和を、前記p番目のデータからの前記標準パターンと前記計測信号のパターンとのマッチング度とみなし、前記マッチング度が最大値、又は最小値を取るときの前記pの値より前記検出対象物の位置を求めることを特徴とする位置計測方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 525 B ,  G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W