特許
J-GLOBAL ID：200903063381216729
静電チャック
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350129
公開番号（公開出願番号）：特開平5-211228
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 使用温度に合せて安定した静電特性を発揮する静電チャックを得る。【構成】 静電チャックの絶縁層2は、アルミナと遷移金属酸化物との固溶体粒子21及び固溶体粒子の粒界に存在するガラス22からなる。ここで、遷移金属酸化物としてはアルミナとの間で固溶体を作るもの、具体的にはアルミナと結晶構造が類似するコランダム構造の結晶構造となるクロミア(Cr2O3)が挙げられる。
請求項（抜粋）：
絶縁層内に内部電極を設けた静電チャックにおいて、前記絶縁層はアルミナとコランダム構造の遷移金属酸化コランダム構造の遷移金属酸化物物との固溶体粒子及び固溶体粒子の粒界に存在するガラスからなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
引用特許：
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