特許
J-GLOBAL ID：200903063384788251
ガス漏洩検知装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-114089
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300656
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 ガス検知器により検知することができないガス漏洩を検知できるようにする。【構成】 キーボード1より予め入力したガスの予定消費量と圧力制御器8、流量センサー9及びガスボンベ重量計11で計測したガスの実際消費量とをマイクロコンピュータ3で常に比較してガス漏洩を監視し、ガスの実際消費量が予定消費量より大きくなったときはガスバルブ遮断装置4を作動させてバルブ12を閉じ、ガスボンベ5から半導体製造設備7へのガス供給を遮断することにより、ガス検知器が設置されていない場所でのガス漏洩や、このガス検知器により検知できない限界濃度以下のわずかなガス漏洩を検知できるようにして、ガス供給系で生じるガス漏洩を確実に遮断できるようにする。
請求項（抜粋）：
製造設備に、製造に使用するガスを供給する際、該ガスの漏洩を検知し、該ガスの供給を停止する装置であって、前記ガスの使用量、圧力及び重量の各値を予め記憶する記憶手段と、ガス供給時に、前記ガスの使用量、圧力及び重量を計測する計測手段と、前記記憶手段により記憶した情報と前記計測手段により計測した情報とを比較する比較手段とを備え、前記計測した情報が前記記憶した情報より大きい時、前記製造設備へのガスの供給を停止するようにしたことを特徴とするガス漏洩検知装置。
IPC (3件)：
G01M 3/28
, F17D 5/00
, G05D 16/20
