特許

J-GLOBAL ID：200903063386350075

金属カンチレバー、原子間力顕微鏡/走査型静電容量顕微鏡複合装置と原子間力顕微鏡/走査型静電容量顕微鏡/走査型トンネル顕微鏡複合装置

発明者： 八百 隆文 ,  富家 英登 ,  吉村 雅満 ,  川見 浩
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-297567
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113521
出願日： 1995年10月19日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 原子間力顕微鏡のカンチレバーと静電容量顕微鏡の両方に利用できる導電性のカンチレバーを与えること。製造容易で同一のものが簡単にできるようなカンチレバーを与える。【解決手段】 金属ワイヤを切断し、先端をとがらせ、中間部を曲げてカンチレバーとする。

請求項（抜粋）：

直径が0.01mm〜0.1mmの金属ワイヤから作られ、尖鋭化された先端部と中間の折れ曲がり部とを有し、原子間力顕微鏡のカンチレバーと静電容量顕微鏡の探針として共通に使用できる金属カンチレバー。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (5件)：

G01N 37/00 A ,  G01N 37/00 B ,  G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z