特許

J-GLOBAL ID：200903063390376933

圧電体構造物およびその製造方法

発明者： 神戸 由美 ,  三好 春子 ,  日比野 真吾 ,  伊佐治 雅久
出願人/特許権者： 東海ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203778
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031857
出願日： 1997年07月14日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【解決課題】 水熱合成法により圧電特性の良い圧電体構造物およびその製造方法を提供する。【解決手段】 表面に酸化チタン層を有するチタン金属基板上、または表面に酸化チタン層を有するチタン金属膜を形成した弾性体基板上に、水熱合成法により合成した、チタンを含有する複合酸化物薄膜を形成してなる圧電体構造物、およびその圧電体構造物の製造方法。

請求項（抜粋）：

表面に酸化チタン層を有するチタン金属基板上に、水熱合成法によりチタンを含有する複合酸化物薄膜を形成してなる圧電体構造物。

IPC (5件)：

H01L 41/187 ,  C30B 7/10 ,  C30B 29/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24

FI (5件)：

H01L 41/18 101 D ,  C30B 7/10 ,  C30B 29/32 A ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/22 A