特許
J-GLOBAL ID：200903063394923556
真空室の大気開放方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-140030
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333792
出願日： 1993年05月19日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 パーティクルを巻き上げることもなく、しかも構造を簡単にすることができる真空室の大気開放方法及びその装置を提供する。【構成】 清浄雰囲気中に設置された真空室を大気開放する大気開放装置において、上記真空室2に主気体供給系38を接続し、更に補助開閉弁50を介設した開放用連通路46を接続すると共にこの気体導入口46を清浄雰囲気中に設置する。そして、制御部52により、まず、主気体供給系を介して真空室内へ気体を導入し、圧力計28が所定の値を示したら、更に真空室の圧力が清浄雰囲気の圧力よりも僅かな値だけ低い状態になると予想される時間だけ気体の供給を継続する。そして、その期間が経過した時に主気体供給系による気体の供給を停止すると同時に補助開閉弁を開くことにより開放用連通路を介して差圧分の清浄気体を導入し、大気開放を行う。
請求項（抜粋）：
真空状態になされ、清浄雰囲気中に設置された真空室を大気開放する方法において、前記真空室内に供給する気体の供給流量を時間の経過に従って増加させた後、その供給流量を一定にし、前記真空室内の圧力が所定の値になった時以降は前記気体の供給を、前記真空室内の圧力が前記清浄雰囲気の圧力よりも僅かに低い値になると予想される時間だけ継続し、その後、前記真空室内を、開放用連通路を介して前記雰囲気に連通するようにしたことを特徴とする真空室の大気開放方法。
IPC (2件)：
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