特許
J-GLOBAL ID：200903063398684564
熱電気測定装置の試料加熱装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-259891
公開番号（公開出願番号）：特開2002-071601
出願日： 2000年08月29日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：
【要約】【課題】 熱電気測定装置において、試料の裏側に導電性のヒータ容器を配置することにより、熱源からの輻射熱が試料に当たることがないようにし、また、ヒータに流れる電流が熱電気測定に影響を及ぼさないようにする。【解決手段】 導電性のヒータ容器50は円筒部51とフランジ52からなる。フランジ52には導電性のベローズ70の上端が固定されている。円筒部51の内部には、フラットパネルヒータ素子54、56が収容されている。ヒータ容器50は、電気絶縁性の伝熱シート68を介して、試料組立体10の基板12の下面に固定される。ヒータ容器50は、試料14から見て、基板12の裏側に位置するので、ヒータ容器50からの輻射熱が試料14の表面に直接当たることがない。ヒータ容器50とベローズ70と下板82と筒84は互いに電気的に接続され、静電シールドを構成している。ヒータ素子は静電シールドの外側にあるので、ヒータ素子やその配線から放射される電磁的なノイズは、静電シールドで遮断される。
請求項（抜粋）：
次の構成を備える熱電気測定装置の試料加熱装置。(a)熱電気測定装置の試料組立体に固定できる導電性のヒータ容器。(b)前記ヒータ容器の内部に配置されたヒータ素子。(c)前記ヒータ素子を前記ヒータ容器から電気的に絶縁する電気絶縁体。(d)前記ヒータ容器に一端が電気的に接続された導電性のベローズ。(e)前記ベローズの他端に電気的に接続された導電性の筒であって、前記試料組立体を収容する空間を取り囲む筒。
Fターム (16件)：
2G040AB08
, 2G040AB18
, 2G040AB20
, 2G040BA18
, 2G040BA25
, 2G040BA27
, 2G040CA02
, 2G040CA13
, 2G040CA22
, 2G040DA02
, 2G040EA02
, 2G040EA06
, 2G040EB02
, 2G040EC03
, 2G040EC08
, 2G040FA01
