特許
J-GLOBAL ID：200903063402491806
薄膜コンデンサー及び薄膜コンデンサー内蔵基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-225417
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088318
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、薄膜コンデンサーに係り、基板を高融点金属製にすることによってインピーダンスを低減してデカップリングコンデンサーとして使用し、高速性を要求される電子部品の特性変動を抑えて、電子部品の信頼性を高めることを目的とする。【構成】 Moからなる金属基板12と、Ptからなる酸化防止膜16とから成る第1の電極17と、第1の電極17に対向するように配設されるCr電極14、Cu電極15からなる第2の電極18と、電極間に誘電体13となるSTO膜を介装する構成とした。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板上に設けられた第1の電極と、該第1の電極に対向するように配設される第2の電極と、該電極間に介装された誘電体とよりなり、該基板を導電性部材により形成し、該基板を該第1の電極の一部として使用することを特徴とする薄膜コンデンサー。
IPC (5件)：
H01L 27/01 311
, H01G 4/33
, H01G 4/12
, H05K 1/16
, H05K 3/46
H01G 4/06 102
, H01G 4/12
