特許

J-GLOBAL ID：200903063405852435

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 河辺 保雅
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-229792
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066397
出願日： 1998年08月14日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】深紫外線、特にArFエキシマレーザー光リソグラフィに有用な、脂環式炭化水素骨格を有する重合体を用いた化学増幅レジスト組成物であって、レジスト性能、塗布性能、溶液の保存安定性、安全性に優れ、現像欠陥の問題を生じないポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、活性光線により酸を発生する化合物、含窒素塩基性化合物、フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤、(E)溶剤が(a)乳酸エチルを60〜90重量%含有し、かつ(b)3-エトキシプロピオン酸エチルを10〜40重量%含有するポジ型感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)環状脂肪族炭化水素骨格を有し、酸の作用により分解してアルカリ可溶性となる重合体、(B)活性光線により酸を発生する化合物、(C)含窒素塩基性化合物、(D)フッ素系及び/又はシリコン系界面活性剤、及び(E)(a)乳酸エチルを全溶剤に対して60〜90重量%含有し、且つ(b)3-エトキシプロピオン酸エチルを全溶剤に対して10〜40重量%含有する溶剤を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/039 601 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (18件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CA41 ,  2H025CB06 ,  2H025CB10 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17