特許
J-GLOBAL ID：200903063415610740
表面弾性波素子
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-245645
公開番号（公開出願番号）：特開平5-083068
出願日： 1991年09月25日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】 より高い周波数域で作動することができ、かつ損失の少ない表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層1と、ダイヤモンド層1上に設けられる圧電体層3と、ダイヤモンド層1と圧電体層3の間に設けられ、両層に密着するくし型電極2a、2bを備える表面弾性波素子において、くし型電極2a、2bがダイヤモンド層において集束イオンビームによりイオン注入された領域であることを特徴とする素子(図1(c)参照)。
請求項（抜粋）：
ダイヤモンド層と、前記ダイヤモンド層上に設けられる圧電体層と、前記ダイヤモンド層と前記圧電体層の間に設けられ、両層に密着するくし型電極とを備える表面弾性波素子において、前記くし型電極が、前記ダイヤモンド層において集束イオンビームによりイオン注入された領域であることを特徴とする、表面弾性波素子。
IPC (3件)：
H03H 3/08
, H03H 9/145
, H03H 9/25
