特許

J-GLOBAL ID：200903063419703904

蛍石とそれを用いた光学物品及びフォトリソグラフィー用の露光装置

発明者： 大場 点 ,  市崎 敏夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-315815
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】短波長で高出力の光を長期間繰り返し照射した場合であっても、透過率特性が劣化し難い蛍石、それよりなる光学部品及び該光学部品を用いたフォトリソグラフィー用の露光装置を提供すること。【解決手段】 135nmの波長の光に対する透過率が70%以上であり、ランタン(La)、イットリウム(Y)を含み、ランタン含有量が1ppm以下、イットリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする蛍石。この蛍石からなるエキシマレーザー用光学部品及びそれを用いたフォトリソグラフィー用露光装置。

請求項（抜粋）：

135nmの波長の光に対する透過率が70%以上であり、ランタン(La)、イットリウム(Y)を含み、ランタン含有量が1ppm以下、イットリウム含有量が10ppm以下であることを特徴とする蛍石。

IPC (4件)：

C01F 11/22 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/00 ,  G03F 7/20 505

FI (4件)：

C01F 11/22 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/00 ,  G03F 7/20 505