特許
J-GLOBAL ID：200903063420549544
電子部品実装装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-217019
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064931
出願日： 1996年08月19日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：
【要約】【課題】 チップを基板に搭載する際に、コレットからチップに加えられる押圧力(荷重)の大きさを簡単に変更できる移送ヘッドを備えた電子部品実装装置を提供することを目的とする。【解決手段】 コレット49を有する昇降シャフト48はホルダ41に4本備えられており、モータ43でホルダ41を回転軸42を中心に回転させることにより、最適のコレット49を有する昇降シャフト48は使用位置へ移動する。使用位置には押圧手段60が設けられている。押圧手段60は、ピストンユニット65と電空レギュレータ68を備えており、ピストンユニット65のプランジャ67を下降させることにより昇降シャフト48を下降させる。ピストンユニット65を電空レギュレータ68で制御することにより、コレット49がチップ9を基板に押し付ける荷重の大きさを変更する。
請求項（抜粋）：
チップを移送ヘッドによりピックアップして位置決め部に位置決めされた基板に移送搭載する電子部品実装装置であって、前記移送ヘッドが、チップを真空吸着するコレットを下端部に備えた昇降シャフトと、この昇降シャフトを複数個昇降自在に保持するホルダと、この昇降シャフトを上方へ弾発するスプリングと、このスプリングのばね力に抗して所定の押圧力でこの昇降シャフトを下方へ押し下げる押圧手段と、前記ホルダを前記押圧手段に対して相対的に移動させて前記複数個の昇降シャフトのうちの何れか1つを前記押圧手段による昇降動作位置に位置させるコレット選択手段と、このコレット選択手段の選択動作に応じて前記押圧手段の押圧力を変更する押圧力変更手段とを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/52 F
, H01L 21/68 B
