電子回路およびその形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津国肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-126103
公開番号（公開出願番号）：特開2001-308415
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年11月02日
要約：

【要約】【課題】工程を簡略化し、材料の無駄を省き、加工ステップの増加に伴うパターン精度の低下や材料への汚染を防ぎ、導電性が比較的高い導電部と絶縁部からなる、新規な電子回路およびその形成方法を提供する。【解決手段】固体ポリオルガノシランと導電性有機ポリマーを主成分として含む導電部を有する電子回路;ならびに固体ポリオルガノシランと導電性有機ポリマーを主成分として含む薄膜に、(a)その一部の部位を、コヒーレント光によって露光する工程;(b)上記と同じ部位を、酸素の存在下に非コヒーレント紫外光によって露光する工程;および(c)酸または酸化性物質でドーピングする工程を任意の順序に含む処理を行うことを特徴とする、電子回路の形成方法。

請求項（抜粋）：

固体ポリオルガノシランと導電性有機ポリマーを主成分として含む導電部を有する電子回路。

IPC (10件)：

H01L 51/00 , C08K 3/00 , C08L 49/00 , C08L 65/00 , C08L 65/02 , C08L 79/00 , C08L 83/16 , C08L101/00 , H01L 21/3205 , H05K 1/09

FI (10件)：

C08K 3/00 , C08L 49/00 , C08L 65/00 , C08L 65/02 , C08L 79/00 A , C08L 83/16 , C08L101/00 , H05K 1/09 D , H01L 29/28 , H01L 21/88 A

Fターム (22件)：

4E351BB01 , 4E351BB31 , 4E351CC27 , 4E351DD40 , 4E351GG20 , 4J002BM00W , 4J002CE00W , 4J002CM01W , 4J002CP01X , 4J002DD016 , 4J002DD036 , 4J002DE096 , 4J002DE116 , 4J002DG046 , 4J002EV236 , 4J002FD116 , 4J002GQ00 , 5F033PP26 , 5F033QQ01 , 5F033WW04 , 5F033XX03 , 5F033XX33

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